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.NM， 絕對?磁版本；

.HV， ?真空版本;

1             底?尺?*?度

65 × 65 mm × 12 mm

2            主體材料

不銹鋼

不銹鋼

3            線纜 & 接頭

標(biāo)準(zhǔn)屏蔽線纜

DSub9 接頭

kapton漆包線，

PEEK-2mm插針

運(yùn)動參數(shù)-空間推薦安裝形式 I.（下列性質(zhì)均在推薦安裝形式下測得）

4            運(yùn)動?程

6 mm

5            最?速度

推薦使? 0.5mm/min，最?2 mm/s

6            最?步伐

典型值20 nm，最? 50 nm

7            驅(qū)動頻率

最?頻率2 kHz，典型 350 Hz

8            主動推?

20 N

9            保持?

100 N

10           最?側(cè)向?

1 N

運(yùn)動參數(shù)-空間推薦安裝形式 II.（下列性質(zhì)均在推薦安裝形式下測得）

11           最?垂直負(fù)載

2 N

12           保持?

5 N

其他

13           使?溫度

10 - 40 °C